LJ-B72型泡生法单晶炉

LJ-B72型单晶炉

技术指标

1.电源：                          三相四线制 50Hz 380 ±10%

2.直流电阻加热                    72KW（12V、6000A）

3.最高加热温度                    2100℃ 控温分辨率0.1℃

4.冷炉极限真空度：                6.67×10-3Pa

5.充气压力：                      0.08 MPa

6.最大装料量：                    35Kg   

7.主炉室内径：                      ￠720mm

8.主炉室高度：                     950mm

9.籽晶杆慢速                       0.10～2.50mm/h

10.籽晶杆快速                     120mm/min(手动+电动)

11.籽晶杆转速                     1～8rpm

    12.籽晶杆行程                     350mm

 

控制系统具有以下功能：

1、籽晶杆快、慢速运动控制，籽晶杆电子手轮慢速运动控制；
2、籽晶杆旋转电机无级调速控制、缓启动、停止控制；
3、籽晶杆上下位置相对保护；
4、籽晶杆上下位移绝对或相对位置记录和设置；
5、系统水压、真空、温度、位置等各种状态检测和报警；
6、功率电源欠水压保护、欠真空保护；
7、系统温度自动控制；
8、系统真空度监测、调节；
9、系统信息自动记录（加热功率、晶体重量、生长率等）；
10、系统参数设置和保存；
11、运新环境Win/xp。